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中网投领投国内MOCVD装备领先企业蓝河科技
日期:2026-07-21      来源:

近日,国内MOCVD装备领先企业蓝河科技(绍兴)有限公司完成数亿元人民币B6轮融资。本轮融资由中国互联网投资基金(中网投)领投,泰达科创、长江创新等知名机构联合投资。至此,蓝河科技已累计完成多轮融资,获得包括产业与财务投资方的持续加持,初步奠定了国内化合物半导体核心装备市场的领军地位。 近日,国内MOCVD装备领先企业蓝河科技(绍兴)有限公司完成数亿元人民币B6轮融资。本轮融资由中国互联网投资基金(中网投)领投,泰达科创、长江创新等知名机构联合投资。至此,蓝河科技已累计完成多轮融资,获得包括产业与财务投资方的持续加持,初步奠定了国内化合物半导体核心装备市场的领军地位。

MOCVD(金属有机化学气相沉积)是半导体制造中最核心的外延生长装备之一。通过精密的化学气相反应,MOCVD设备在衬底上生长出原子级厚度的单晶薄膜——无论是光通信激光器中的磷化铟(InP)量子阱结构,还是太空光伏电池中的砷化镓(GaAs)多结外延层,都必须依赖MOCVD设备完成。而长期以来,全球MOCVD高端市场被德国Aixtron(爱思强)和美国Veeco(维易科)双寡头垄断,在GaN功率器件和光电子等高端领域,国产化率长期不足10%。蓝河科技的出现,正在改写这一格局。

蓝河科技是国内唯一实现全材料体系MOCVD设备批量出货的企业,覆盖第二代半导体(InP/GaAs)、第三代半导体(GaN/SiC)、第四代半导体(Ga₂O₃、AlN)以及二维薄膜材料。凭借全面的技术布局,蓝河科技客户群体已覆盖40余家科研院所以及50余家产业客户。截至目前,公司已累计出货150多台,全系列产品均已形成批量订单出货。

当前MOCVD设备行业恰逢下游两大核心应用场景——光通信与太空光伏——同时进入爆发拐点,形成了难得的“双引擎”驱动格局。其中,光通信芯片(DFB激光器、EML电吸收调制激光器、VCSEL等)的核心制造工艺,正是依赖MOCVD设备在InP和GaAs衬底上进行精密外延生长。蓝河科技是行业内为数不多在光通信InP/GaAs激光器MOCVD领域实现量产工艺验证并批量出货的企业,其DR系列和CS系列产品已批量导入多家头部客户产线,深度受益于本轮AI算力基础设施建设浪潮。

与此同时,我国低轨卫星互联网正处于规模化组网元年,而所有这些低轨卫星的持续能源供给,都离不开太空光伏电池——目前最主流的多结砷化镓(GaAs)柔性太阳能电池,必须通过MOCVD设备逐层外延生长。蓝河科技也实现了在太空光伏GaAs MOCVD领域实现批量出货,并针对行业需求特点,定向开发优于现有设备的技术能力,精准卡位这一爆发级赛道。

中网投作为本轮领投方,长期聚焦关键核心技术突破,开展投资布局,尤其在半导体设备“卡脖子”环节持续深耕。中网投此次投资蓝河科技,基于公司在化合物半导体MOCVD这一战略装备领域的稀缺性和领先性,体现了国家级基金对国产半导体设备自主可控的战略支持。

随着AI算力革命和太空经济浪潮的双重催化,蓝河科技作为国内唯一实现全材料体系覆盖的MOCVD装备平台,其“光通信+太空光伏”双引擎增长逻辑正在加速兑现。这家兼具技术深度和产业广度的硬科技企业,有望在中国半导体设备自主化的浪潮中,成长为具有国际竞争力的化合物半导体装备平台型龙头。


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